三菱重工技報
    Vol. 40 No. 6 (2003)   先進技術特集
    特集 技術論文

    高経済性太陽電池を構成する先進技術

    High Technology Achieving Photovoltaic Solar Cell with High Cost-Performance

    米倉義道
    Yoshimichi Yonekura
    山下信樹
    Nobuki Yamashita
    中野要治
    Youji Nakano
    竹内良昭
    Yoshiaki Takeuchi
    野田松平
    Matsuhei Noda
    山内康弘
    Yasuhiro Yamauchi
    米倉義道
    山下信樹
    中野要治
    竹内良昭
    野田松平
    山内康弘

    当社では各種クリーンエネルギー開発の一環として薄膜型太陽電池の開発を推進している.そのキー技術として超高周波を用いた高速大面積プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相堆積法)技術を開発し,世界最大のa-Si太陽電池(1.4 m×1.1 m)を製品化した.この技術を基に,高経済性を更に追求した次世代製品として発電効率12%のa-Si/微結晶Siタンデム構造薄膜型太陽電池を開発している.高性能,高生産性を両立する技術開発の結果,小面積セル(32 mm2)で初期発電効率13.1 %,大面積モジュールで安定化発電効率9.8 %をそれぞれ達成した.