三菱重工技報
    Vol. 52 No. 4 (2015)   新製品·新技術特集
    技術論文

    高温耐熱性を有したフレキシブル薄膜超音波センサ技術

    The Technique of High Temperature Thin-film Ultrasonic Sensor

    山本裕子
    Yuko Yamamoto
    川浪精一
    Seiichi Kawanami
    川瀬直人
    Naoto Kawase
    小平武志
    Takeshi Kodaira
    山本裕子
    川浪精一
    川瀬直人
    小平武志

    薄くて柔軟性があり,高温でも使用可能な薄膜超音波探傷(UT:Ultrasonic Testing)センサを開発した。薄膜UTセンサは,プラントの配管や容器の厚さ測定において,従来型UTセンサの代替や運転中の連続モニタリングといった用途に適用可能である。本稿では,開発した薄膜UTセンサの特徴や性能,適用範囲を拡大するための応用研究,実機工事への展開について述べる。