三菱重工技報
    Vol. 46 No. 1 (2009)   新製品·新技術/サービス特集
    技術論文
    照明用有機EL製造装置

    Development of Production System of OLED Panel for Lighting Purpose
    小笠原弘明
    Hiroaki Ogasawara
    柳雄二
    Yuji Yanagi
    津元良公
    Yoshitaka Tsumoto
    小林敏郎
    Toshiro Kobayashi
    佐藤恵一
    Keiichi Sato
    平野竜也
    Tatsuya Hirano
    小笠原弘明
    柳雄二
    津元良公
    小林敏郎
    佐藤恵一
    平野竜也
    有機 EL は,その形状(極薄で面発光),光の質(優れた色再現性,UV レス)及び環境性能(水銀レス,数年内に蛍光灯より省エネ)から,白色 LED と並び,環境にやさしい次世代照明として大いに期待されているが,これまでは,量産が難しく,パネルが高価なことから,普及には至っていなかった.そこで当社は,製鉄機械で培った亜鉛,アルミニウムなどの大面積連続成膜技術をベースに,高価な有機 EL 材料の使用効率を飛躍的に高め,有機 EL パネルの低コスト量産を実現する「大型リニア蒸発源方式インライン成膜装置」を開発した.本稿では,当該装置の概要について紹介する.

    製品・技術