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HOME技術情報三菱重工技報 第52巻 第1号 新製品・新技術特集プリズムローテータを用いた高速高品質レーザ穴あけ加工技術の研究

三菱重工技報
  技術論文
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プリズムローテータを用いた高速高品質レーザ穴あけ加工技術の研究

High Speed & Quality Laser Drilling Technology by Using Prism Rotator

呉屋真之・渡辺俊哉・山口純平・山下貢丸・鈴木竜

Saneyuki Goya, Toshiya Watanabe, Junpei Yamaguchi, Tsugumaru Yamashita, Ryu Suzuki
 従来のレーザ穴あけ加工方法は、加工用レーザヘッド、もしくは加工ステージを機械的に回転させることにより加工を行うため、質量や剛性の制限を受けるこれら構造物の加減速が律速となり、加工速度の向上には限界があった。また、加工速度に限界があることにより、加工品質に関わるレーザによる熱影響の抑制にも限界があった。以上の課題に対し、レーザヘッドや加工ステージなどの構造物に比べて、わずかな質量で構成されるレーザ光学系を高速で回転させることにより、従来のレーザ加工に対し同等以上の加工品質を保持しつつ、大幅な加工速度の向上を実現した。