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HOME技術情報三菱重工技報 第52巻 第4号 新製品・新技術特集高温耐熱性を有したフレキシブル薄膜超音波センサ技術

三菱重工技報
  技術論文
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高温耐熱性を有したフレキシブル薄膜超音波センサ技術

The Technique of High Temperature Thin-film Ultrasonic Sensor

山本裕子・川浪精一・川瀬直人・小平武志

Yuko Yamamoto, Seiichi Kawanami, Naoto Kawase, Takeshi Kodaira
 薄くて柔軟性があり,高温でも使用可能な薄膜超音波探傷(UT:Ultrasonic Testing)センサを開発した。薄膜UTセンサは,プラントの配管や容器の厚さ測定において,従来型UTセンサの代替や運転中の連続モニタリングといった用途に適用可能である。本稿では,開発した薄膜UTセンサの特徴や性能,適用範囲を拡大するための応用研究,実機工事への展開について述べる。