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微細加工用全固体紫外レーザ加工機Meister1000DF
Diode-pumped Solid-State Ultra Violet Laser Micro Processing System
池田直昭・赤羽 崇・井上典亮・高橋慎治・野田 修
Naoaki Ikeda, Takashi Akaba, Fumiaki Inoue, Shinji Takahashi, Osamu Noda |
全固体紫外レーザを搭載した微細加工用レーザ加工機を開発した．レーザ部は当社で開発したレーザダイオード励起の短パルスYAGレーザ発振器であり，CLBO結晶を用いて第4高調波（波長266nm）の紫外レーザを発生させる．本機はCLBO結晶によるYAG第４高調波を用いた本格的なレーザ加工機としては初めてのものであり，従来のCO2レーザやYAG第３高調波レーザ搭載の加工機に比べ短波長，短パルス化を実現した．本機を用いた微小貫通穴加工試験の結果，熱影響，加工残渣が極めて少ない高品質な加工が可能であることが確認でき，特に従来加工機では困難であった無機材料微細加工への適用有用性が確認できた．
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第49巻 (2012)
第40巻 (2003)
