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HOME技術情報三菱重工技報 第39巻 第3号 未来を拓く発電技術特集高背圧・大流量ターボ分子ポンプの開発

三菱重工技報
  一般 技術論文
  和文:Pdf
英文:掲載なし
高背圧・大流量ターボ分子ポンプの開発

Development of Turbo Molecular Pump (TMP) for High Back Pressure and High Throughput

東尾篤史・平井悦郎・安井豊明・岡村知明

Atsushi Higashio, Etsuro Hirai, Toyoaki Yasui, Tomoaki Okamura
広い圧力領域で作動可能かつ連続排気が可能な真空ポンプであるターボ分子ポンプ(TMP)において,省エネルギー化のために,大流量域及び高背圧域での更なる排気性能向上を実現することが望まれている.本報では,新型TMP,FT-800Wにおける高背圧機能の特徴を示す.あわせて高背圧等により発生する反応生成物の付着を防止するために開発した内部昇温システム及び大流量排気時に発生するロータクリープ破壊対策のために開発したロータ特殊表面処理について概説する.また,TMP高背圧化のために使用した性能予測技術として,三次元DSMC法解析について紹介する.