精密位置検出器

可動部にリニア MP スケールのスライダを取り付けて、固定部にスケールを取り付けて位置を検出します。

回転部分にロータリ MP スケールのロータを取り付けて、固定部にステータを取り付けて回転角度を検出します。

X 軸が 32.5 m のストロークの世界最大級の工作機械スーパーミラーにもリニア MP スケールが装着されています。

5 軸ヘッドの B 軸と C 軸にもロータリ MP スケールが取り付けられて高精度な 5 軸加工を実現しています。

液晶や PDP 用製造装置の大形精密位置決めテーブルにも使用されています。

• 主軸の回転制御と C 軸の高精度位置決めにロータリ MP スケールを取り付け、また、工具の旋回の B 軸にもロータリ MP スケールを取り付けることで、高精度な曲線加工が可能になります。
• スペースの少ない X 軸や Y 軸にリニア MP スケールを取り付けることが可能で、ボールスクリューの熱変位対策に有用です。

• スライダ (ステータ) とスケール (ロータ) の両方に櫛形のコイルが配置されています。
• スライダのコイルに交流電流を流すと、スケールに電磁誘導作用で電圧が発生します。
• スライダとスケールの位置が変化すると発生する電圧が変化します。変化した電圧をとらえて、位置を検出します。

• 位置 A では、スケールのパターンとスライダのパターンが一致するので、電磁結合は正方向に最大になります。
• スケールの 1/4 ピッチずれた位置 B では、スライダの格子がスケールの格子の中間にあり、スライダの両方向に流れる電流の影響を等しく受け電磁結合は零になります。
• スケールの 1/2 ピッチずれた位置 C では、位置 A と逆方向の関係になり、電磁結合は負方向に最大になります。
• スケールの 3/4 ピッチずれた位置 D では、位置 B と同じ関係になり、結合は同じく零になります。
• スケールの 1 ピッチずれた位置 E では、位置 A と同じ関係になり、電磁結合は移動位置によって誤差のない SIN 結合になります。

スライダには、1/4 ピッチずれた 2 つのパターンが用意されており、位置に対して SIN と COS の電磁結合を行います。
この 2 つのパターンを用いることにより、ギャップ等の変化の影響を受けない高精度な位置検出が可能となっています。

リニア MP スケールは MPS-25ASC の保証精度が 2 μm、ロータリ MP スケールは MPI-1272B の保証精度が 2 秒と高精度です。
(注) すべての精度は幅で表示しています。

• スケールの厚さは 14 ～ 20 mm と薄く、機械をコンパクトに出来ます。
• ロータリスケールは中空構造で 5 軸ヘッドでは配線や配管を通過させることが出来ます。

絶対値エンコーダが取付かない DD モータの場合

スケール単独で絶対値検出が可能な MPRZ シリーズを使用します。