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三菱重工ニュース
2002年12月3日発行 第4068号

「ガラス基板搬送用ロボット」を開発
「SEMICON JAPAN 2002」に出展


 三菱重工業は、液晶テレビやパソコンのディスプレイ等に使用されるLCDパネルの製造工程に導入される大型のガラス基板搬送用ロボットを開発した。12月4日(水)から6日(金)まで千葉市の幕張メッセで開催される「SEMICON JAPAN 2002」に試作機を出展する。出展を契機に本格的な受注活動を開始する。

三菱重工ニュース
ガラス基板搬送用ロボット

 この搬送用ロボットは大型のガラス基板を最小限の振動に抑えて、高速で安定して搬送できる点が最大の特長。今後ますます大型化すると見られているLCD用ガラス基板に対応するもの。

 ロボットの構造は、旋回動作が可能なベースと上下に動作する垂直3関節アーム、搬送する際にガラス基板がたわまぬよう吸着保持するハンドを備えた水平アームで出来ている。ロボットは、ガラス基板の収納されたカセットとプロセス装置との間でガラス基板の受け渡し(取り出し・挿入)を行うが、将来の縦横搬送にも対応可能なように構成されている。

 搬送するガラス基板が大型化していく中、受け渡し時の振動、横揺れ、バックラッシュなどが問題であったが、当社は、水平アームを動かす際の構造を従来のベルトリンク機構から、メカニカルなものにすることで改善を施した。
 これに加え、高度な構造解析技術を用いることにより、ガラス基板自身とロボット(水平アーム)自身のたわみ・揺れをも解消し、第7世代と言われる1辺が2mを超える大型のガラス基板を搬送する場合でも第5世代(1辺が1m強のガラス基板)と同様の高速・安定搬送を可能とした。
 さらにクリーン度もシール機構によりクリーンクラス100を確保している。

 今後は、カセットステーションに組み込んだ搬送システムや、走行軸と組み合わせたシステムなど装置のレイアウトをはじめユーザーの様々な要望に応えていくとともに積極的な営業活動を展開、液晶分野へのロボット拡販に注力していく。
 初年度、100台の販売を見込んでいる。

※クリーンクラス100
 清浄度を示す指標で、1立方フィート当たりに浮遊粒子が100個以下のもの。



営業窓口 機械事業本部 風水力・一般機械部
製作事業所 神戸造船所


以  上