「第22回マイクロマシン／MEMS展」
名称
第22回マイクロマシン／MEMS展（Exhibition Micromachine/MEMS2011）
展示会開催期間・時間
2011年7月13日（水曜日）～2011年7月15日（金曜日） 10時00分～17時00分
会場
東京ビッグサイト（東京国際展示場） 東2ホール
東京ビックサイトへの交通アクセス（第22回マイクロマシン／MEMS展のウェブサイトへリンクします）
当社出展概要およびお問い合わせ
今回、出展する常温ウェーハ接合装置は、イオンビームや中性原子ビームを用いて界面の活性化による常温接合技術を実現しました。接合時の熱歪みを生じず母材並みの接合強度を確保し高い生産性を実現します。
また、常温ウェーハ接合装置とともに、切削加工の観点から小型精密加工機μV１での難削ウェーハ材の精密加工を実現した、フォトマスク作成なしで短納期・低コストをご提案する各種切削加工サンプルも展示します。
出展製品に関するお問い合わせおよび展示会の招待状をご希望の方は、以下リンクをクリックして、お問い合わせフォームに必要事項をご記入お願いします。
出展製品に関するお問い合わせ
当社ブース出展場所（ホール番号／小間番号）
東2ホール／小間番号D-10
入場料
1,000円（来場者事前登録を行うと、入場料1,000円が無料）
主催
一般財団法人マイクロマシンセンター（MMC）
